Fast・Easy・Low priceでSEMI準拠装置を繋ぐ

EQOC(半導体製造接続ツール)

EQOC(EQuipment Online Control)は、半導体製造装置等と上位システムの接続を簡単に実現するSEMIに準拠したツールです。
187機種、1,800ライセンスを越える導入実績と15年以上製造業に携わった経験に基づく業種ノウハウ、システムノウハウを蓄積しており、半導体工程全般の装置と接続し、新規装置導入時及び装置交換時には、Fast,Easy, LowPriceでの装置オンライン化を実現いたします。

  • SECS-IとHSMSの両方をサポート(SEMI STANDARDS E4-01,E5-1296に準拠)
  • 豊富な通信トレース機能&解析 
  • 収集した装置データをXML形式で保持
  • スクリプト言語(インタプリタ)の採用
  • VBインターフェースOCXを搭載

特長

  • ベンダーを選ばず、新規・既存MESとの接続を容易に実現
  • スクリプト言語(インタプリタ)による簡単定義・簡単接続
  • VBインターフェースOCXを搭載し、短期間でのオンライン化を実現
  • 10ユーザライセンスを1.5百万円からのご提供のほか、1ライセンス毎の追加ライセンスメニューも取り揃えるなど、豊富なメニューで導入コストを低減
  • お客様への装置搬入前に装置メーカー先で事前に通信テスト実施する場合のシミュレート環境をご用意

EQOCに関するお問い合わせ

ページの先頭へ