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お知らせ

2012年6月29日
富士通セミコンダクター株式会社

前工程工場の200mm縦型炉への免震台設置をすべて完了

富士通セミコンダクター株式会社 (注1)は、かねてより進めていた、当社グループの前工程工場200mmウェハーラインに保有する縦型炉への免震台設置作業をこのほどすべて完了しました。これにより、大地震などの災害時により早く操業を復旧できる体制が、これまで以上に強化されました。

昨年の東日本大震災以来、工業製品や部品、材料の安定的な供給の重要性がますます注目されており、半導体工場においても、被災時に一刻も早く操業を復旧できる体制の構築が望まれています。当社では2008年に2回にわたって岩手・宮城地方で発生した大規模な地震の被災経験から、前工程工場は7日間、後工程工場は3日間で、それぞれ復旧するBCM(注2)を構築しました。その際に決定した対策に「製造設備の免震・耐震施策のさらなる実施」があり、その一つとして、大成建設様、東京エレクトロン様のご協力のもと、前工程工場の縦型炉へ免震台を導入することを決定しました。

縦型炉は内部に石英製の部品を使用しており、地震の揺れによりこれが破損すると復旧に多くの時間を要し、工場の再開を遅らせる要因となります。東日本大震災発生以前には、前工程工場(岩手工場、三重工場、富士通セミコンダクターテクノロジ株式会社)に保有する200mmウェハー用縦型炉のうち、特に操業に与える影響の大きい、約20%の縦型炉に免震台を設置していました。震災の際、これら免震台を設置したものについては石英部品の破損がなく、工場の早期復旧に大きく寄与しました。この成果を踏まえ、未設置の200mm縦型炉すべてに免震台を設置することを決定し、順次導入作業を進めていました。

このほど、予定通り設置作業が完了し、大地震などの災害時に早期に工場の操業を復帰できる体制を強化することができました。なお、三重工場の300mmラインについては工場建屋自体が免震構造となっているため、縦型炉への免震台導入は不要であり、設置の対象には含まれていません。

当社では、免震対策のほかにも、停電時にもクリーンルームの稼働を最低限維持できる災害用保安発電機の各工場への設置など、さらなるBCM強化に向けた施策を進めています。 こうした取り組みを通じて、今後も継続してお客様への安定的な製品供給に努めていきます。

図1.免震台図1.免震台

注釈

注1  富士通セミコンダクター株式会社:

本社 神奈川県横浜市、代表取締役社長 岡田 晴基。

注2  BCM:

Business Continuity Management(事業継続マネジメント)

お客様お問い合わせ先

富士通セミコンダクター株式会社
環境技術統括部 環境技術部
icon-telephone 電話: 042-532-1383 (直通)

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以上