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富士通クオリティ・ラボ

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エミッション顕微鏡

半導体内部で起こる異常現象により発生する微弱発光を検出する設備。

ホットエレクトロン、リーク、ラッチアップ等による発光を検出し、光学顕微鏡像と合成することで故障箇所の特定が可能。



装置概要

対物レンズ倍率:

0.8倍/5倍/20倍/100倍

特徴:

  • マニュアルプローバーによるプロービング対応可(4端子)
  • 可視光から赤外線まで検出感度があり、赤外線顕微鏡の代用が可能
  • 半導体のリーク箇所で微小発光することから、不具合箇所の特定など半導体の故障解析に利用

お問い合わせ

ご希望のエミッション観察が可能かどうか、試料の大きさなどをご連絡ください。

所有装置

エミッション顕微鏡

エミッション顕微鏡
メーカー:浜松ホトニクス
型格:PHEMOS-200

活用事例

ICの特性異常品調査

端子付近に異常発光(赤丸部)を検出。不具合個所の特定に活用。

エミッション顕微鏡写真


お問い合わせ

富士通クオリティ・ラボ株式会社  

受付時間 : 平日9時~17時(土曜・日曜・祝日・当社指定の休業日を除く)

icon-telephone 電話 : 044-280-9948

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