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3D-X線解析装置

X線透視に加えCT撮影をする装置。

サンプルを回転させながらX線を照射、画像処理により3D表示させる。


装置概要

試料最大寸法:

W460 x D410 x H120mm

試料最大重量:

5kg

観察可能範囲:

平面観察時 MAX 30mm x 20mm
CT観察時 MAX φ12mm/8mm厚(サンプル形状に依存)
最少焦点寸法: 0.8μm

最大倍率:

平面観察時 625倍(サンプル形状に依存)
CT観察時 220倍(サンプル形状に依存)

特徴:

  • 傾斜型CTによる断面観察が可能
  • 高分解能装置であり、微小箇所の観察が可能
  • X線の感度が高いため、従来の装置では透過して見づらい材料(Cu,Al 等)の観察が可能

お問い合わせ

ご希望の観察が可能かどうか、試料の大きさなどをご連絡ください。

所有装置

3D-X線解析装置

3D-X線解析装置
高分解能3次元X線CTシステム
メーカー:ユニハイトシステム
型格:XVA-160α

活用事例

ICチップの透視観察

サンプルを回転させながらX線を照射。サンプル内部の3次元構造を観察。

X線透視 X線透視(60°) 3次元画像
X線透視
X線透視(60°)
3次元画像

半田接合部の透視観察

接合部の剥離箇所の断面を傾斜CTにより観察。

半田接合部の透視観察 (剥離検出例)


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