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X線光電子分光分析(XPS)

表面に存在する元素の種類、量、化学的結合状態を分析できます。

  • 最表面(数nm)の成分分析ができます
  • 元素の結合状態まで調査できます
  • 絶縁体でも分析できます
X線光電子分光装置
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