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走査電子顕微鏡

表面をシンプルに観察する手法だからこそ、不具合原因究明の糸口を見つける上で極めて有効な手法と言えます。

  • 表面の凹凸を観察できます
  • 組成の違いを観察できます
  • 微小部を拡大観察できます(数十~数万倍)
走査電子顕微鏡(SEM)
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