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富士通クオリティ・ラボ

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FIB加工による断面観察・解析サービス

FIB加工による断面観察・解析サービス

FIB(Focused Ion Beam:集束イオンビーム)は、イオンビームによって試料を精密に加工し、狙った場所の断面を観察できる装置です。

画像を観測しながら、目的の場所の断面を正確に露出することができるほか、イオンビームによって発生した二次電子により金属などの結晶粒の観察が可能です。

特に下記の場合には、FIBを用いた断面観察が最適です。

こんなお悩みやご要望はありませんか?
  • 観察対象が微小で、通常の研磨では追いこめない
  • 研磨作業によるキズやダレで、不具合箇所が消えてしまう
  • 研磨作業で観察対象(異物など)が飛んでしまう

富士通クオリティ・ラボでは、更に一歩進んだFIB断面観察を提供しております。

044-280-9930

こんなお悩みやご要望はありませんか?

不具合箇所が特定できない/場所による状況変化を見たい

断面の連続観察(スライス&ビュー)矢印
  • ショートは判明しているが、配線のどの場所か判らない
  • 配線やバンプの形状変化を見たい
  • 接合部の状態を3次元的に見たい

不具合の真因をつきとめたい

SEM像・SIM像を用いた統合解析矢印
  • ワイヤーボンドの高抵抗原因を調べたい
  • めっきの層数と厚さを調べたい
  • 腐食の進行状況を見たい

至急、不具合原因を知りたい

多数箇所自動加工矢印
  • 生産を再開していいか、早急に判断したい
  • 開発が遅れてしまう
  • お客様への原因報告を急かされている

FIBで広い範囲を見たい

観察範囲 最大200μm矢印
  • ワイヤーボンドの接合状態を全幅見たい
  • はんだボールの断面全体を見たい
  • VCSELの断面を両側トレンチまで含めて見たい
富士通クオリティ・ラボの「FIB加工・観察」新たな3つの強み

1. 断面の連続観察(スライス&ビュー)

これまでは指定した場所のピンポイント観察でしたが、前後の状態を連続観察できる様になりました。
観察ポイントがあいまいな場合でも、不具合箇所を探しながら観察することが可能です。また、3次元的な状況も把握でき、観察面の奥に潜んでいる真因も見逃しません。

下の画像は、ワイヤーボンドのスライス&ビューです。これまで(2)の画像だけで安心していましたが、さらにその奥に故障の種が潜んでいました。

断面の連続観察(スライス&ビュー)



加工観察の事例を動画でご紹介しています。(上図とは別事例)



2. SEM像・SIM像を用いた統合解析

微小形状の観察に適した SEM-二次電子像、結晶粒の観察に適した SIM像をまとめて取得し、統合的に解析します。

下の画像は、ワイヤーボンドの高抵抗原因が腐食による金属間化合物中の酸化物であることを示しています。

SEM像・SIM像を用いた統合解析

3. 多数箇所自動加工

多数箇所自動加工

これまで1日1~2箇所しか観察できませんでしたが、
5~10箇所の加工・観察が可能となりました。

右図のようなご要望も分析開始後1日程度※で結果報告が可能です。
※繁忙時やご依頼内容によりお時間をいただく場合がございます。



044-280-9930

FIBによる加工・観察事例

電極パッドの断面

電極パッドの断面

(左)FIB加工箇所の全体像  (右)パッド断面の拡大観察像(60°傾斜)

不揮発性メモリの断面

不揮発性メモリの断面

FIB加工により、メモリセルの観測したい場所の断面を狙い通りに作製できます。


多層薄膜とはんだの接合部断面

多層薄膜とはんだの接合部断面

SIM(走査イオン顕微鏡)像は、ニッケルと銅のように、SEM(二次電子顕微鏡)像観察では区別が難しい、原子番号が近い金属で構成された多層膜の構造が鮮明に観測できます。



実装材料の解析-はんだ分析事例-

材料分析ソリューション紹介 の中でも、FIBによる 実装材料の解析 例をご紹介しています。



その他の分析事例



その他の主な解析設備

断面加工・観察、成分分析に必要な解析装置を多数保有。最適な解析手法のご提案はもちろん、精密解析室での立会い分析にも対応いたします。


非破壊解析 X線透視装置
3D-X線解析装置
ロックイン赤外線発熱解析装置
超音波探傷装置
蛍光X線分析装置
破壊解析 エミッション顕微鏡
レーザーオープナー
精密・材料分析 走査電子顕微鏡(SEM)
透過型電子顕微鏡(TEM)
電子線マイクロアナライザ(EPMA)
走査電子顕微鏡-エネルギ分散型X線分析(SEM-EDX)
走査型オージェ電子分光装置(AES,SAM)
走査型X線光電子分光装置(マイクロ-XPS)


お問い合わせ

富士通クオリティ・ラボ株式会社  

受付時間 : 平日9時~17時(土曜・日曜・祝日・当社指定の休業日を除く)

このページに関するお問い合わせ

icon-telephone 電話 : 044-280-9930/078-934-8207

icon-mail E-mail : fql-analysis@cs.jp.fujitsu.com

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