GTM-MML4VXJ
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富士通クオリティ・ラボ

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所有設備

信頼性評価や故障解析、異物・開発材料の分析など、目的に応じて使用している主な装置をご紹介します。


環境試験関係


環境試験関係
区分 装置名 装置の性能・用途
環境試験 気槽 熱衝撃試験槽 温度変化を短時間に繰り返すことによる劣化性の確認
試験可能温度: 高温 +60~+200℃/低温 -70~0℃
液槽 熱衝撃試験槽 急激な温度変化による劣化性の確認
試験可能温度: 高温 +70~+150℃/低温 -65~0℃
恒温恒湿槽 温度・湿度加速による劣化性調査
温度範囲: -40~+150℃
湿度範囲: 20~98%RH(設定温度に制限あり)
低温低湿槽(恒温恒湿槽) 温度・湿度加速による劣化性調査(低温・低湿可)
温度範囲: -20~+100℃
湿度範囲: 10~95%RH(設定温度に制限あり)
恒温槽 温度による劣化性の調査
温度範囲: +40~+250℃
温湿度・振動複合環境試験装置 温湿度と振動の環境ストレスによる複合環境試験
温度範囲 : -40~+150℃
湿度範囲 : 20~98%RH(設定温度に制限あり)
振動周波数 : 10 ~ 2,500Hz
プレッシャクッカ 高圧・高湿度による劣化性調査
温度範囲 : +105~+142.9℃
湿度範囲 : 75~100%RH
圧力範囲 : 0.020~0.196MPa
真空オーブン
(減圧試験機)
減圧環境下での密閉度調査
試験可能温度: +40~+200℃
圧力: 5~933hPa
ガス腐食試験機 腐食性ガス環境下での劣化性調査
使用ガス: H2S、SO2、NO2、Cl2
槽内容積: W500 x D500 x H700mm
遠赤外温風リフロー槽 温度変化による劣化性の確認
基板サイズ: 最大W250 x L330、最小W 50 x L50mm
加熱ゾーン数: 7
促進耐候性試験機
(サンシャインウェザーメーター)
カーボンアーク灯光による紫外線照射で、製品・材料の劣化性を確認
サンシャインカーボンアーク 78時間連続照射
試料サイズ: W150 x D70 x H1mm、最大70枚
高促進耐候性試験機
(スーパーキセノンウェザーメーター)
太陽光に近似した高照度の紫外線照射で、製品・材料の劣化性を確認
7.5kW 水冷式キセノンランプ、照射照度:60~180W/m^2
試料サイズ: W150 x D70 x H1mm、最大54枚

2017.10.13

検査・測定・試験関係

検査・測定・試験関係
区分 装置名 装置の性能・用途
物理的測定・試験 デジタルマイクロスコープ 外観観察、寸法測定、深度合成撮影、ICチップ表面観察
観察倍率: 150~3,000倍
レーザー顕微鏡 外観観察
測定可能範囲(X,Y): 300~1,000um
金属顕微鏡 ICチップ表面観察
観察倍率: 50~1,000倍
実体顕微鏡 外観観察
観察倍率: 10~80倍
アドバンストセーフティテスター
二次電池の安全性評価
内部短絡(釘刺し試験)、外部短絡、温度(-40~100℃)、外圧(圧壊試験)
振動試験機 振動による劣化性調査
振動周波数: 10~3,000Hz
最大加速度: 980m/s^2
最大搭載質量: 200kg
微加振試験機 微振動(ハンマー型打撃)による劣化性調査
衝撃加速度範囲: 90~150G
加振周期 : 0.5/1.0/1.5/2.0s
圧縮引張試験機 コネクタの挿抜力やキーボードスイッチ押下力の測定
測定可能力: 0.1~500N
電子分析天秤 IC吸湿量など微小重量の測定
ひょう量: 120g、最少分解能: 0.1mg、最大試料: φ80mm
分光測色計 色の測定
測定径: φ3mm/φ8mm/φ30mm(反射測定)、φ20mm(透過測定, 厚み60mmまで)
DIN5033 Teil7、JIS Z 8722 条件c、ISO7724/1、CIE No.15、ASTM E 1164準拠
分光放射計 試料(LED等の発光体)が放射する光のスペクトル分布を測定
測定波長範囲:380~780nm
測定距離:350mm~(対物レンズ金物先端からの距離)
表面反射アナライザー 試料の光沢指標(光沢度、曇り度、写像性、BRDF)を同時測定
測定レンジ:0~2000GU(照射角度20°時)
ヘーズメータ 試料を通過する全光線に対する拡散光の割合(ヘーズ値)を測定
最大試料サイズ: W260 x D145 x H25mm
低抵抗率計 試料の抵抗率を4端子4探針法により測定
測定レンジ:0.01~1,000,000Ω
電気的測定・試験 ROM評価システム ROMの各種特性の測定、機能検査
インピーダンスアナライザ 受動素子の測定
周波数: 40Hz~110MHz
試料サイズ: SMD2電極タイプ 0603~、IMD、他
オシロスコープ 治具使用時の測定
カーブトレーサ V-I特性の測定
ピークパワー: 3KW/400A/3000V
パラメーターアナライザ 各特性の測定(小型ICテスタ)
半導体パルスジェネレータ 電気部品測定時のパルス印加
周波数範囲: 1Hz~50MHz(最大振幅 32Vpp)、100uH~15MHz(最大振幅 10Vpp)
ファンクションジェネレータ 電気部品測定時の入力波形印加(任意波形の作成)
最高クロック: 1GHz
最大振幅: 2Vpp
ミリオームメーター 基板、ケーブルの測定
測定範囲: 10uΩ~100KΩ
測定電流: 1uA~10mA
ロジックアナライザ ロジック回路の動作解析
サンプリングレート: 最大250MHz/48ch、125MHz/96ch
ゲインフェーズアナライザ 被測定回路の利得、位相特性の測定
周波数範囲:正弦波 0.1mHz~15MHz、分解能 0.1mHz
AC振幅: 0~10Vpeak、DCバイアス: -10V~+10V
ネットワークアナライザ 被測定回路の伝播特性の測定
印加可能周波数: 9KHz~6.5GHz
シングルエンド/ディファレンシャル測定可能、タイムドメイン反射測定(TDR)機能あり
ケーブルテスタ ケーブルの電気試験
導体試験の判定値: 約1KΩ
瞬断試験の検出時間: 1μS
絶縁抵抗試験の判定範囲: 10~990MΩ(試験電圧DC100~500V)
耐圧試験: AC50~600V
コネクター瞬断評価システム 接触部品等の瞬断評価
最小瞬断幅: 500ns~100ms
測定可能数: 10ch
イオンマイグレーション評価システム イオンマイグレーションの連続監視による劣化性調査
印加電圧: 最大100V
絶縁抵抗測定範囲: 10E+05Ω~10E+14Ω
最大9,999時間、64ch 測定可能
導体抵抗(AMR)システム コネクターの接触抵抗評価など連続監視による劣化性調査
測定可能数: 120ch
抵抗測定範囲: 10uΩ~100KΩ
ESD試験器
(静電気試験器)
ESD耐量評価(IEC61000-4-2 準拠)
最大印加電圧: ±30KV(150pF、330Ω)
雷サージ試験器 雷サージ耐量評価(IEC61000-4-5 準拠)
サージ波形: コンビネーションウェーブ(1.2us/50us、8us/20us)
最大出力電圧: 15KV±10%、出力極性:正/負
ノイズシミュレータ 高周波ノイズ耐量評価(所有設備:INS-4040)
出力電圧: 0.01~4KV±10%、出力極性:正/負
パルス幅: 10ns、50ns~1us(50nsステップ)
バッテリテストシステム
(充放電試験器)
バッテリの電気特性評価
最大充放電電力:25.00W/200.00W
耐圧試験機 絶縁耐圧評価
印加電圧 : 0V~10kV(電圧変動率15%以下)
最大定格出力 : AC500VA(10kV/50mA)、DC50W(10kV/5mA)
輝度測定器 LCDパネル等の輝度、色度の測定。
最小測定径: φ0.5mm、測定距離: 350mm~∞
絶縁抵抗計 基板、ケーブルの測定
測定範囲: 1.0E+03~1.6E+16Ω
測定電圧: DC0.1V~1,000V
非破壊調査 X線透視装置 内部配線の断線、内部クラック有無の調査
最大試料サイズ: W470 x D420 x H100mm
最大試料重量: 5Kg
大型X線透視装置 大型の試料を非破壊で部品レベルまでX線透視可能
最大試料サイズ: W1,100 x D600 x H500mm
最大試料重量: 10kg
3D-X線解析装置 傾斜型CTによる断面観察
最大試料サイズ: W460 x D410 x H120mm
最大試料重量: 5Kg
3D形状測定機 非接触で段差、幅、角度等を高速で測定
最大測定範囲: 200 x 100mm
赤外線温度測定器
(赤外線サーモグラフィ)
部品の温度測定、温度分布の可視化による調査 
測定温度範囲: -40℃~1,500℃
温度分解能: 0.04℃(30℃にて)
ロックイン赤外線発熱解析装置
電子部品やプリント基板の発熱個所を非破壊で特定
最大試料サイズ: W450 x D450 x H56mm
最大試料重量: 10kg
高速度カメラ
(ハイスピードカメラ)
高速撮影とスローモーション再生による高速現象の調査
最高録画速度: 1,000fps(1,024 x 1,024) 
感度: 6,000 ISO(モノクロ)、2,000 ISO(カラー)
超音波探傷装置 内部剥離有無の調査(反射/透過像観察可)
保有プローブ: 10 ~ 300MHz
観察可能範囲: 307 x 307mm
最小ゲート幅: 1ns
蛍光X線分析装置 含有元素分析
最大試料サイズ: W500 x D350 x H85mm
最大試料重量: 2kg
分析可能範囲: 200 x 200mm
破壊調査 エミッション顕微鏡 半導体から発生する微小発光の観察による故障個所の特定
対物レンズ倍率: 0.8倍/5倍/20倍/100倍
マニュアルプローバーによるプロービング対応可(4端子)
レーザーオープナー レーザーによる封止樹脂の除去やCuボンディングパッケージの開封
搭載可能試料サイズ: W397 x D170 x H20mm
加工可能領域: 最大 50 x 50mm
ボンディングテスター ワイヤーボンディングのプルテスト、シェアテスト
可動範囲(X,Y,Z): 70 x 70 x 190mm
プルテスト: 50~800g
シェアテスト: 800g/8Kg
集束イオンビーム加工観察装置(FIB) イオンビームによる断面加工
取り付け可能試料サイズ: W110 x D110 x H50mm
ドライエッチング装置 半導体の保護膜除去
反応ガス: CF4、O2
研磨機 ICパッケージ断面の観察試料作成

2017.10.13

材料分析関係

材料分析関係
分類 装置名 装置の性能・用途
形態観察 マイクロスコープ 1/1.8 CCD搭載,画素数約200万画素,
50~3500倍の非破壊表面形態観察
金属顕微鏡(OM) 最高倍率 1000~2000倍,多重干渉計,形態観察
レーザー顕微鏡(LSM) 高さ方向最小分解能 0.01μm,超深度形状測定
走査型電子顕微鏡(SEM) 分解能 3.0nm,無蒸着で形態観察可能,破面解析
透過型電子顕微鏡(TEM) 200kV,最高倍率 400万倍,格子像観察可,
電子線回折可, EDX元素分析 C~Bi
ナノメータ 素子の平面および断面構造観察
FIB加工 集束イオンビーム加工観察装置(FIB) 断面の加工・SEM/SIM観察,結晶粒の観察,
SEM/AES の分析観察断面の作製,
TEM の試料作製,配線加工など
マイクロ分析 電子線マイクロアナライザ(EPMA) 固体中の>1μmφ領域の元素分析(1wt%オーダー),
Be~U分析,元素カラーマップ
走査型電子顕微鏡-エネルギー分散型X線分析
(SEM-EDX)
分解能 3nm,EDX装置付 B~U分析,
5~10万倍の形態観察と定性定量分析
表面分析 走査型オージェ電子分光装置(AES) 最小プローブ10nmφ, Li~U 分析,高精細元素マップ可,表層部と深さ方向の元素分析(1at%オーダー),低速イオン照射可
走査型X線光電子分光装置(XPS) 最小プローブφ9μm,Li~U分析,モノクロAl走査型X線,Ar/C60イオン銃,表層部と深さ方向の元素/状態分析, 状態分析マップ可
元素分析 ICP質量分析装置(ICP-MS) (134 KB/A4, 2 pages) 微量元素定性,定量分析,高感度,耐マトリックス性有り(ppt~数百ppm)
ICP発光分光分析装置
(ICP-AES)
シーケンシャル型波長範囲160~800nm,
多元素同時高感度定性,定量分析(ppb~ppmオーダー)
蛍光X線分析装置(XRF) 10~35mmφ/1~7mmφ等各種,元素分析(ppmオーダー),C~U 分析,マッピング測定,RoHS指令対応
化学分析 イオンクロマト分析装置(IC) サプレッサ式,電気伝導度検出範囲 0.01~3000μs,温度範囲 室温~80℃,アニオン・カチオンの定性定量分析 (数10ppb~ppm)
キャピラリー電気泳動装置 フォトダイオードアレイ検出器512ch,波長範囲190~600nm,
メッキ液・洗浄液等中のアニオン・カチオンの定性定量分析(~ppm)
有機分析 顕微型フーリエ変換赤外分光分析計(FT-IR) 分解能0.5cm-1,波長範囲 7000~400cm-1,
顕微・ATR・反射・偏光機能付,有機材料の構造解析
ガスクロマトグラフ-質量分析計(GC-MS) 濃縮導入装置 CP4020,キュリーポイントパイロライザJHP-3,
溶剤・ガスの構造解析,有機材料の構造解析
材料試験 示差走査熱量計(DSC)
温度-150~1000℃,速度0.01~100 ℃/min,感度±100 mW,融解・ガラス転移・熱履歴・結晶化・硬化・比熱などの測定
示差熱・熱重量同時測定装置(TG-DTA)
温度 RT ~1500℃,速度0.01~100℃/min,TG感度:±0.2 μg,DTA感度:0.06 μV,水分・灰分量・分解・酸化・耐熱性・フィラー含有量などの測定
動的粘弾性測定装置(DMS)
温度-150~1500℃,速度0.01~100 ℃/min, 感度±0.02μm,固体,フィルム製品の膨張率・ガラス転移・軟化・膨潤・クリープ・応力・歪などの測定
デジタル粉塵計 ステアリン酸換算0.001mg/m3,大気中の浮遊粉塵濃度測定
水素イオン濃度計 測定範囲 pH 0 ~14, 分解能 0.01pH,水溶液の水素イオン濃度測定,酸性・アルカリ性調査
ビッカース硬度計 HMV,荷重30~2000g,金属・プラスチック類の硬さ試験
引張り試験機 測定範囲 0~5000kg,部品材料および紙などの引っ張り・圧縮強度試験(繰り返しも可)
導電率計 測定範囲 0~200mS/cm,純水等の水質測定

2017.10.13

上記以外の分析・試験につきましても、特約を結んでいる外部機関を利用して全面的に対処いたしますので、ご相談下さい。

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